GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

标准编号：GB/T 16880-1997

中文名称：光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

英文名称：Guidelines for photomask defect classification and size definition

发布日期：1997-06-20

实施日期：1998-03-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草单位

中国科学院微电子中心

标准范围

本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。

标准预览图