GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

标准编号：GB/T 1558-1997

中文名称：硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

英文名称：Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption

发布日期：1997-12-22

实施日期：1998-08-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草单位

峨嵋半导体材料厂

标准预览图