标准编号:GB/T 12965-2005

代替以下标准:GB/T 12965-1996

中文名称:硅单晶切割片和研磨片

英文名称:Monocrystalline silicon as cut slices and lapped slices

发布日期:2005-09-19

实施日期:2006-04-01

归口单位:中国有色金属工业协会

批准发布部门:中国有色金属工业协会

起草单位

北京有色金属研究总院

标准范围

本标准规定了硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的产品分类、术语、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于由直拉、悬浮区熔和中子嬗变掺杂硅单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。产品主要用于制作晶体管、整流器件等半导体器件,或进一步加工成抛光片。

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