标准编号:GB/T 12965-2005
代替以下标准:GB/T 12965-1996
中文名称:硅单晶切割片和研磨片
英文名称:Monocrystalline silicon as cut slices and lapped slices
发布日期:2005-09-19
实施日期:2006-04-01
归口单位:中国有色金属工业协会
批准发布部门:中国有色金属工业协会
起草单位
北京有色金属研究总院
标准范围
本标准规定了硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的产品分类、术语、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于由直拉、悬浮区熔和中子嬗变掺杂硅单晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。产品主要用于制作晶体管、整流器件等半导体器件,或进一步加工成抛光片。