标准编号：GB/T 14604-2009
代替以下标准：GB/T 14604-1993
中文名称：电子工业用气体 氧
英文名称：Gas for electronic industry - Oxygen
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
周泽义、周鹏云
起草单位
中国计量科学研究院、西南化工研究设计院
标准范围
u3000u3000本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
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