标准编号：GB/T 31227-2014
中文名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
英文名称：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
发布日期：2014-09-30
实施日期：2015-04-15
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
批准发布部门：中国科学院
起草人
李慧琴、梁齐、张冰、路庆华、何丹农
起草单位
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
标准范围
本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。 其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
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