标准编号：GB/T 18867-2014
代替以下标准：GB/T 18867-2002
中文名称：电子工业用气体 六氟化硫
英文名称：Gases for electronic industry―Sulphur hexaflouride
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准化管理委员会
起草人
黄晓磊、牛学坤、刘长庆、任清贵、赖明贵、傅涛
起草单位
黎明化工研究设计院有限责任公司、青海信禾高精化工有限公司、四川众力氟业有限责任公司、大连大特气体有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、四川中测标物科技有限公司
标准范围
本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。 本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学 气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。
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