GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

标准编号：GB/T 32816-2016

中文名称：硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process

发布日期：2016-08-29

实施日期：2017-03-01

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草人

张大成、杨芳、何军、黄贤、邹赫麟、田大宇、李海斌、王玮、刘冲、刘伟、姜博岩

北京大学、大连理工大学、中机生产力促进中心、北京青鸟元芯微系统科技有限公司

本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。