标准编号：GB/T 39163-2020
中文名称：靶材与背板结合强度测试方法
英文名称：Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
发布日期：2020-11-19
实施日期：2021-10-01
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：中国有色金属工业协会
起草人
丁照崇、陈明、贺昕、林若虚、曹欢欢、王云能、曹晓萌、张静、赵永善、熊晓东、李勇军、张晓娜、袁海军、李利利、王传军
起草单位
有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司
标准范围
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注：靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
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