YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

标准号 YS/T 15-1991 标准名称 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
发布日期 1991-04-26 实施日期 1992-06-01
废止日期 代替以下标准
提出单位 None 归口单位
批准发布部门 中国有色金属工业总公司
中国标准分类 H82
国际标准分类 29.045
起草人
起草单位
适用范围
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