YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

有色金属行业标准(YS)

标准编号：YS/T 15-1991

中文名称：硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

发布日期：1991-04-26

实施日期：1992-06-01

批准发布部门：中国有色金属工业总公司

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