YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
标准号 | YS/T 15-1991 | 标准名称 | 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法 |
发布日期 | 1991-04-26 | 实施日期 | 1992-06-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | None | 归口单位 | |
批准发布部门 | 中国有色金属工业总公司 | ||
中国标准分类 | H82 | ||
国际标准分类 | 29.045 | ||
起草人 | |||
起草单位 | |||
适用范围 | |||
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标准号 | YS/T 15-1991 | 标准名称 | 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法 |
发布日期 | 1991-04-26 | 实施日期 | 1992-06-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | None | 归口单位 | |
批准发布部门 | 中国有色金属工业总公司 | ||
中国标准分类 | H82 | ||
国际标准分类 | 29.045 | ||
起草人 | |||
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