JB/T 4082-1991 溅射离子泵技术条件

标准号 JB/T 4082-1991 标准名称 溅射离子泵技术条件
发布日期 1991-07-22 实施日期 1992-07-01
废止日期 代替以下标准
提出单位 None 归口单位
批准发布部门 机械电子工业部
中国标准分类 J71
国际标准分类 23.160
起草人
起草单位
适用范围

u3000u3000本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。 u3000u3000本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵。

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