JB/T 4082-1991 溅射离子泵技术条件
标准号 | JB/T 4082-1991 | 标准名称 | 溅射离子泵技术条件 |
发布日期 | 1991-07-22 | 实施日期 | 1992-07-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | None | 归口单位 | |
批准发布部门 | 机械电子工业部 | ||
中国标准分类 | J71 | ||
国际标准分类 | 23.160 | ||
起草人 | |||
起草单位 | |||
适用范围 | u3000u3000本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。 u3000u3000本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵。 |
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