JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数
| 标准号 | JB/T 4081-1991 | 标准名称 | 溅射离子泵型式与基本参数 |
| 发布日期 | 1991-07-22 | 实施日期 | 1992-07-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | |
| 批准发布部门 | 机械电子工业部 | ||
| 中国标准分类 | J71 | ||
| 国际标准分类 | 23 | ||
| 起草人 | |||
| 起草单位 | |||
| 适用范围 | u3000u3000本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。 u3000u3000本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。 |
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