SJ/T 10479-1994 自动砂轮划片机通用技术条件
标准号 | SJ/T 10479-1994 | 标准名称 | 自动砂轮划片机通用技术条件 |
发布日期 | 1994-04-11 | 实施日期 | 1994-10-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | None | 归口单位 | |
批准发布部门 | 电子工业部 | ||
中国标准分类 | L98 | ||
国际标准分类 | 31-550 | ||
起草人 | |||
起草单位 | |||
适用范围 | 本标准规定了自动砂轮划片机的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于切割分离半导体硅片、石英、陶瓷等材料的划片机。 |
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