SJ/T 10311-1992 低压化学气相淀积设备通用技术条件
| 标准号 | SJ/T 10311-1992 | 标准名称 | 低压化学气相淀积设备通用技术条件 |
| 发布日期 | 1992-06-15 | 实施日期 | 1992-12-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | |
| 批准发布部门 | 电子工业部 | ||
| 中国标准分类 | L99 | ||
| 国际标准分类 | 31-550 | ||
| 起草人 | |||
| 起草单位 | |||
| 适用范围 | 本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。 |
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