SJ/T 11184-1998 显影设备通用规范
| 标准号 | SJ/T 11184-1998 | 标准名称 | 显影设备通用规范 |
| 发布日期 | 1998-03-11 | 实施日期 | 1998-05-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | SJ 8194－1988 | |
| 提出单位 | None | 归口单位 | |
| 批准发布部门 | 电子工业部 | ||
| 中国标准分类 | L97 | ||
| 国际标准分类 | 31.020 | ||
| 起草人 | |||
| 起草单位 | |||
| 适用范围 | 本标准规定了显影设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等的显影设备。 |
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