SJ/T 10312-1992 电子束暴光机通用技术条件
| 标准号 | SJ/T 10312-1992 | 标准名称 | 电子束暴光机通用技术条件 |
| 发布日期 | 1992-06-15 | 实施日期 | 1992-12-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | |
| 批准发布部门 | 电子工业部 | ||
| 中国标准分类 | N38 | ||
| 国际标准分类 | 31-550 | ||
| 起草人 | |||
| 起草单位 | |||
| 适用范围 | 本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。 |
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