SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法
| 标准号 | SJ/T 10274-1991 | 标准名称 | 掩模对准曝光机测试方法 |
| 发布日期 | 1991-11-12 | 实施日期 | 1992-01-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | |
| 批准发布部门 | 电子工业部 | ||
| 中国标准分类 | N38 | ||
| 国际标准分类 | 31-550 | ||
| 起草人 | |||
| 起草单位 | |||
| 适用范围 | 本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。 |
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| 首页预览图 | |||
| 标准号 | SJ/T 10274-1991 | 标准名称 | 掩模对准曝光机测试方法 |
| 发布日期 | 1991-11-12 | 实施日期 | 1992-01-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | |
| 批准发布部门 | 电子工业部 | ||
| 中国标准分类 | N38 | ||
| 国际标准分类 | 31-550 | ||
| 起草人 | |||
| 起草单位 | |||
| 适用范围 | 本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。 |
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