SJ/T 11185-1998 蒸发镀膜设备通用规范
| 标准号 | SJ/T 11185-1998 | 标准名称 | 蒸发镀膜设备通用规范 |
| 发布日期 | 1998-03-11 | 实施日期 | 1998-05-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | SJ 1224－1977 | |
| 提出单位 | None | 归口单位 | |
| 批准发布部门 | 电子工业部 | ||
| 中国标准分类 | L97 | ||
| 国际标准分类 | 31.020 | ||
| 起草人 | |||
| 起草单位 | |||
| 适用范围 | 本标准规定了蒸发镀膜设备的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。 |
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