SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范

标准编号：SJ/T 11275-2002

中文名称：卧式液相外延系统通用规范

发布日期：2002-10-30

实施日期：2003-03-01

批准发布部门：信息产业部

标准范围

本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包裝、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备，亦可参照执行。