JB/T 7061-1993 电力半导体器件用硅圆片

标准编号：JB/T 7061-1993

中文名称：电力半导体器件用硅圆片

发布日期：1993-10-08

实施日期：1994-01-01

批准发布部门：机械工业部

标准范围

本标准规定了电力半导体器件用硅单晶切割片和研磨片（简称硅片）的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输与贮存。本标准行之有效用于直拉单晶、悬浮区熔单晶、中子嬗变惨杂晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。