标准编号：YS/T 791-2012
中文名称：铂靶
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
王永辉、朱晓光
起草单位
有研亿金新材料有限公司
标准范围
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。
YS/T 791-2012 铂靶
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