标准编号：SJ/T 10478-1994
中文名称：磁控溅射设备通用技术条件
发布日期：1994-04-11
实施日期：1994-10-01
批准发布部门：电子工业部
标准范围
本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于磁控溅射设备。
SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件
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