SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件
| 标准号 | SJ/T 10478-1994 | 标准名称 | 磁控溅射设备通用技术条件 |
| 发布日期 | 1994-04-11 | 实施日期 | 1994-10-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | |
| 批准发布部门 | 电子工业部 | ||
| 中国标准分类 | L98 | ||
| 国际标准分类 | 17.220 | ||
| 起草人 | |||
| 起草单位 | |||
| 适用范围 | 本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于磁控溅射设备。 |
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