标准编号:SJ/T 11131-1997
中文名称:蒸发镀膜设备基本参数系列
发布日期:1997-09-02
实施日期:1998-01-01
批准发布部门:电子工业部
标准范围
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)~5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
标准编号:SJ/T 11131-1997
中文名称:蒸发镀膜设备基本参数系列
发布日期:1997-09-02
实施日期:1998-01-01
批准发布部门:电子工业部
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)~5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。