SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列
| 标准号 | SJ/T 11131-1997 | 标准名称 | 蒸发镀膜设备基本参数系列 |
| 发布日期 | 1997-09-02 | 实施日期 | 1998-01-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | |
| 批准发布部门 | 电子工业部 | ||
| 中国标准分类 | L95 | ||
| 国际标准分类 | 31.020 | ||
| 起草人 | |||
| 起草单位 | |||
| 适用范围 | 本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。 |
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