标准编号:YS/T 719-2009
中文名称:平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶
发布日期:2009-12-04
实施日期:2010-06-01
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
起草人
李智超、杨太礼 等
起草单位
利达光电股份有限公司
标准范围
本标准规定了平面磁控溅射光学薄膜用硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用硅靶材。
标准编号:YS/T 719-2009
中文名称:平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶
发布日期:2009-12-04
实施日期:2010-06-01
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
李智超、杨太礼 等
利达光电股份有限公司
本标准规定了平面磁控溅射光学薄膜用硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用硅靶材。