YS/T 34.1-2011 高纯砷化学分析方法电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质含量

标准编号：YS/T 34.1-2011

代替以下标准：YS/T 34.1-1992;YS/T 34.2-1992

中文名称：高纯砷化学分析方法电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质含量

发布日期：2011-12-20

实施日期：2012-07-01

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

程高明、邹同贵等

峨嵋半导体材料厂、峨嵋山嘉美高纯材料有限公司

本标准规定了高纯砷中金属杂质含量的测定方法，采用电感耦合等离子质谱法测定砷中镁、铬、镍、铜、锌、银、锑、铅、铋、钠、钾、铝、钙、铁等14个杂质含量。本标准适用于99.999%～99.99999%高纯砷中金属杂质含量的测定。测定范围 1×10-7% ～1000×10-7%。