SJ/T 11451-2013 扩散炉能源消耗规范
标准号 | SJ/T 11451-2013 | 标准名称 | 扩散炉能源消耗规范 |
发布日期 | 2013-10-17 | 实施日期 | 2013-12-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | None | 归口单位 | 中国电子技术标准化研究所 |
批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
中国标准分类 | L01 | ||
国际标准分类 | 31.550 | ||
起草人 | <p>李补忠、盛金龙 等</p> | ||
起草单位 | <p>北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心</p> | ||
适用范围 | 本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。 |
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