SJ/T 11451-2013 扩散炉能源消耗规范

标准号 SJ/T 11451-2013 标准名称 扩散炉能源消耗规范
发布日期 2013-10-17 实施日期 2013-12-01
废止日期 代替以下标准
提出单位 None 归口单位 中国电子技术标准化研究所
批准发布部门 工业和信息化部
中国标准分类 L01
国际标准分类 31.550
起草人 <p>李补忠、盛金龙 等</p>
起草单位 <p>北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心</p>
适用范围

本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。

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