SJ/T 11495-2015 硅中间隙氧的转换因子指南
| 标准号 | SJ/T 11495-2015 | 标准名称 | 硅中间隙氧的转换因子指南 |
| 发布日期 | 2015-04-30 | 实施日期 | 2015-10-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
| 中国标准分类 | H82 | ||
| 国际标准分类 | 29.045 | ||
| 起草人 | <p>李静、何秀坤、刘兵 等</p> | ||
| 起草单位 | <p>信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等</p> | ||
| 适用范围 | 本标准规定了硅中间隙氧的转换因子指南。 标准适用于在室温下测试电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和电阻率大于0.5Ω·cm的p型硅单晶中间氧含量。 |
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