SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
| 标准号 | SJ/T 11491-2015 | 标准名称 | 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量 |
| 发布日期 | 2015-04-30 | 实施日期 | 2015-10-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
| 中国标准分类 | H82 | ||
| 国际标准分类 | 29.045 | ||
| 起草人 | <p>李静、何秀坤、刘兵 等</p> | ||
| 起草单位 | <p>信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等</p> | ||
| 适用范围 | 本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。 本标准适用于在室温下用短基线红外吸收法，测量低阻率的n型硅单晶和p型硅单晶中间隙氧含量。测量氧含量的有效范围从1×10∧16at.com3至硅单晶中间隙氧的最大固溶度的测试。 |
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