SJ/T 11508-2015 集成电路用 正胶显影液

标准号 SJ/T 11508-2015 标准名称 集成电路用 正胶显影液
发布日期 2015-04-30 实施日期 2015-10-01
废止日期 代替以下标准
提出单位 None 归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门 工业和信息化部
中国标准分类 L90
国际标准分类 31.030
起草人 <p>戈士勇、何珂、王周霞 等</p>
起草单位 <p>江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院</p>
适用范围

本标准规定了集成电路用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。 本标准适用于集成电路用正胶显影液,以下简称正胶显影液。 本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。

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