SJ/T 11497-2015 砷化镓晶片热稳定性的试验方法

标准号 SJ/T 11497-2015 标准名称 砷化镓晶片热稳定性的试验方法
发布日期 2015-04-30 实施日期 2015-10-01
废止日期 代替以下标准
提出单位 None 归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门 工业和信息化部
中国标准分类 H83
国际标准分类 29.045
起草人 <p>何秀坤、董彦辉、刘兵 等</p>
起草单位 <p>信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等</p>
适用范围

本标准规定了半绝缘砷化镓(GaAs)热稳定性的试验方法。 本标准适用于电阻率在10∧4Ω·cm~10∧9Ω·cm范围半绝缘砷化镓单晶材料的热稳定性试验。

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