SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范
| 标准号 | SJ/T 11516-2015 | 标准名称 | 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范 |
| 发布日期 | 2015-04-30 | 实施日期 | 2015-10-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
| 中国标准分类 | L90 | ||
| 国际标准分类 | 31.030 | ||
| 起草人 | <p>万承华、张沛、熊启龙 等</p> | ||
| 起草单位 | <p>深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院</p> | ||
| 适用范围 | 本标准规定了薄膜晶体管（TFT）用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。 |
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