标准编号：YS/T 1031-2015
中文名称：化学气相沉积炉
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
戴煜、 胡祥龙、 胡高健等
起草单位
湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
标准范围
本标准适用于化学气相沉积。
YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
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