标准编号:YS/T 28-2015
代替以下标准:YS/T 28-1992
中文名称:硅片包装
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
起草人
王飞尧、孙燕、马林宝等
起草单位
杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等
标准范围
本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装,使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。