标准编号:YS/T 1053-2015
中文名称:电子薄膜用高纯钴靶材
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
起草人
王学泽、李勇军、郑文翔等
起草单位
宁波江丰电子材料股份有限公司,有研亿金新材料有限公司
标准范围
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
标准编号:YS/T 1053-2015
中文名称:电子薄膜用高纯钴靶材
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
王学泽、李勇军、郑文翔等
宁波江丰电子材料股份有限公司,有研亿金新材料有限公司
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。