标准编号：YS/T 1069-2015
中文名称：金铍蒸发料
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
谢宏潮、阳岸恒、向磊等
起草单位
贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院
标准范围
本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。
YS/T 1069-2015 金铍蒸发料
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