SJ/T 11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量
| 标准号 | SJ/T 11554-2015 | 标准名称 | 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量 |
| 发布日期 | 2015-10-10 | 实施日期 | 2016-04-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
| 中国标准分类 | L90 | ||
| 国际标准分类 | 31.030 | ||
| 起草人 | <p>刘兵、钱森林、王洪华 等</p> | ||
| 起草单位 | <p>苏州晶瑞化学有限公司、同济大学、工业和信息化部电子工业标准化研究院等</p> | ||
| 适用范围 | 本标准规定了采用电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)测定氢氟酸中金属元素的试验方法。本标准适用于电子工业用氢氟酸中痕量金属元素钠(Na)、镁(Mg)、铝(Al)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、钒(V)、铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)、砷(As)、锶(Sr)、银(Ag)、镉(Cd)、锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铅(Pb)的测定。本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。 |
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