SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范
| 标准号 | SJ/T 11576-2016 | 标准名称 | 喷雾式涂覆设备通用规范 |
| 发布日期 | 2016-01-15 | 实施日期 | 2016-06-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
| 中国标准分类 | L95 | ||
| 国际标准分类 | 31.550 | ||
| 起草人 | <p>贺立波、徐春旭、汪明波 等</p> | ||
| 起草单位 | <p>沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院</p> | ||
| 适用范围 | 本规范规定了喷雾式涂设备（以下简称“设备”）的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。 本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中，在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。 |
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