标准编号：SJ/T 11576-2016
中文名称：喷雾式涂覆设备通用规范
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
贺立波、徐春旭、汪明波 等
起草单位
沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
标准范围
本规范规定了喷雾式涂设备（以下简称“设备”）的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。 本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中，在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。
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