标准编号：SJ/T 3328.5-2016
代替以下标准：SJ 3228.5-1989
中文名称：电子产品用高纯石英砂 第5部分 铁的测定
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
许振午、栾振祥、程尚栩 等
起草单位
工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所
SJ/T 3328.5-2016 电子产品用高纯石英砂 第5部分 铁的测定
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