SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
| 标准号 | SJ/T 31080-2016 | 标准名称 | 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法 |
| 发布日期 | 2016-01-15 | 实施日期 | 2016-06-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | SJ/T 31080-1994 | |
| 提出单位 | None | 归口单位 | 中国电子技术标准化研究院 |
| 批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
| 中国标准分类 | L01 | ||
| 国际标准分类 | 31.550 | ||
| 起草人 | <p>张倩、石少青、辛士卓 等</p> | ||
| 起草单位 | <p>中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所</p> | ||
| 适用范围 | 本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。 本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器(如3600型、EM250型等)可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定。 |
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