SJ/T 3328.1-2016 电子产品用高纯石英砂 第1部分 技术条件
标准号 | SJ/T 3328.1-2016 | 标准名称 | 电子产品用高纯石英砂 第1部分 技术条件 |
发布日期 | 2016-01-15 | 实施日期 | 2016-06-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | SJ 3228.1-1989 | |
提出单位 | None | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
中国标准分类 | |||
国际标准分类 | |||
起草人 | <p>李运强、程尚栩、许振午 等</p> | ||
起草单位 | <p>工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所</p> | ||
适用范围 |