SJ/T 11636-2016 电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法

标准号 SJ/T 11636-2016 标准名称 电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法
发布日期 2016-04-05 实施日期 2016-09-01
废止日期 代替以下标准
提出单位 None 归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门 工业和信息化部
中国标准分类 L90
国际标准分类 31.030
起草人 <p>尹云舰、王香、陈玉英 等</p>
起草单位 <p>杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院</p>
适用范围

本标准规定了用自动电位滴定法测定电子工业用显影液中四甲基氧化含量的方法。 本标准适用于电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵含量的测定。

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