SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
| 标准号 | SJ/T 11502-2015 | 标准名称 | 碳化硅单晶抛光片规范 |
| 发布日期 | 2015-04-30 | 实施日期 | 2015-10-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
| 中国标准分类 | H83 | ||
| 国际标准分类 | 29.045 | ||
| 起草人 | <p>丁丽、郑红军、蔺娴 等</p> | ||
| 起草单位 | <p>中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等</p> | ||
| 适用范围 | 本规范规定了碳化硅单晶抛光片的术语和定义、牌号、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。 本规范适用于晶型为6H和4H，单面或双面抛光,直径100mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。 |
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