SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求

标准编号：SJ/T 11762-2020

中文名称：半导体设备制造信息标识要求

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

冯亚彬、程朝阳、钟华 等

起草单位

中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司等

标准范围

适用于半导体设备制造信息标识

标准预览图