SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求
标准号 | SJ/T 11762-2020 | 标准名称 | 半导体设备制造信息标识要求 |
发布日期 | 2020-12-09 | 实施日期 | 2021-04-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | None | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
中国标准分类 | L95 | ||
国际标准分类 | 31.550 | ||
起草人 | <p>冯亚彬、程朝阳、钟华 等</p> | ||
起草单位 | <p>中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司等</p> | ||
适用范围 | 适用于半导体设备制造信息标识 |
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