标准编号：DB53/T 499-2013
中文名称：多晶硅用三氯氢硅
发布日期：2013-08-01
实施日期：2013-10-01
提出单位：云南省质量技术监督局
归口单位：云南省质量技术监督局
批准发布部门：云南省质量技术监督局
起草人
金波、亢若谷、马启坤、赵建为、赵祖乔、罗平、张云晖、李仕勇、宋东明、韩小月
起草单位
昆明冶研新材料股份有限公司
标准范围
本标准规定了多晶硅用三氯氢硅的要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容。
本标准适用于改良西门子法生产的多晶硅用三氯氢硅。
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