DB35/T 1873-2019 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件

标准号 DB35/T 1873-2019 标准名称 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件
发布日期 2019-12-19 实施日期 2020-03-19
废止日期 代替以下标准
提出单位 归口单位 福建省工业和信息化厅
批准发布部门 福建省市场监督管理局
中国标准分类 H72
国际标准分类 77.150.99
起草人 张科、任小英、陈钦忠、郑建文、林志河、汪家兵、陈丹红。
起草单位 福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。
适用范围

本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于以高纯硅粉为原料,添加微量物质后,采用等离子喷涂工艺,将硅粉喷涂于不锈钢衬管上的热喷涂旋转硅靶材。

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