DB35/T 1873-2019 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件
标准号 | DB35/T 1873-2019 | 标准名称 | 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件 |
发布日期 | 2019-12-19 | 实施日期 | 2020-03-19 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | 归口单位 | 福建省工业和信息化厅 | |
批准发布部门 | 福建省市场监督管理局 | ||
中国标准分类 | H72 | ||
国际标准分类 | 77.150.99 | ||
起草人 | 张科、任小英、陈钦忠、郑建文、林志河、汪家兵、陈丹红。 | ||
起草单位 | 福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。 | ||
适用范围 | 本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于以高纯硅粉为原料,添加微量物质后,采用等离子喷涂工艺,将硅粉喷涂于不锈钢衬管上的热喷涂旋转硅靶材。 |
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