标准编号：YS/T 1508-2021
中文名称：钯蒸发料
英文名称：Palladium evaporating material
发布日期：2021-12-02
实施日期：2022-04-01
提出单位：全国有色金属标准化技术委员会
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
侯智超、高岩、贺昕、石映奔、王鹏、牟冉冉、滕海涛、罗瑶、张巧霞、吕保国、董亭义、王炜
起草单位
有研亿金新材料有限公司、成都光明派特贵金属有限公司、北京翠铂林有色金属技术开发中心有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所
标准范围
本文件规定了钯蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。
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