YS/T 1508-2021 钯蒸发料
标准号 | YS/T 1508-2021 | 标准名称 | 钯蒸发料 |
发布日期 | 2021-12-02 | 实施日期 | 2022-04-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | 全国有色金属标准化技术委员会 | 归口单位 | 全国有色金属标准化技术委员会 |
批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
中国标准分类 | H68 | ||
国际标准分类 | 77.150.99 | ||
起草人 | 侯智超、高岩、贺昕、石映奔、王鹏、牟冉冉、滕海涛、罗瑶、张巧霞、吕保国、董亭义、王炜 | ||
起草单位 | 有研亿金新材料有限公司、成都光明派特贵金属有限公司、北京翠铂林有色金属技术开发中心有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所 | ||
适用范围 | 本文件规定了钯蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。 |
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