YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法
| 标准号 | YS/T 987-2021 | 标准名称 | 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法 |
| 发布日期 | 2021-12-02 | 实施日期 | 2022-04-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | YS/T 987-2014 | |
| 提出单位 | 全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 | 归口单位 | 全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
| 中国标准分类 | H17 | ||
| 国际标准分类 | 77.040.30 | ||
| 起草人 | 魏东亮、田润朝、蔡延国、曹岩德、陈英、安军林、陈英春、于生海、申梅桂、李升业、宗冰、尹东林、肖建忠、刘翠、徐家扬 | ||
| 起草单位 | 亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海省亚硅硅材料工程技术有限公司、青海芯测科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。 本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为0.000 010%～0.10%。 |
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