YS/T 1434-2021 六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法
| 标准号 | YS/T 1434-2021 | 标准名称 | 六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法 |
| 发布日期 | 2021-12-02 | 实施日期 | 2022-04-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | 全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 | 归口单位 | 全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
| 中国标准分类 | H17 | ||
| 国际标准分类 | 77.04 | ||
| 起草人 | 万烨、严大洲、赵雄、楚东旭、刘凤华、徐家扬、曹俊英、田润朝、于生海、安军林、侯海波、邓远红、付萍 | ||
| 起草单位 | 洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、内蒙古通威高纯晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、雅波拓（福建）新材料有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的气相色谱测定方法。 本文件适用于六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的测定，各组分的测定范围（质量分数）为不小于0.001%。 |
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