GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法

标准编号：GB/T 42263-2022

中文名称：硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法

英文名称：Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-04-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准化管理委员会

起草人

马农农、何友琴、刘立娜、何烜坤、李素青、陈潇

中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司

本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。

本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×10²⁰cm^-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×10¹⁴cm^-3。