标准编号：T/ZZB 0093-2016
中文名称：集成电路用高纯钛溅射靶材
英文名称：High-purity sputtering titanium target used in integrated circuit
发布日期：2016-09-10
批准发布部门：浙江省品牌建设联合会
起草单位
本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。、本标准主要起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司。、本标准参与起草单位：宁波创润新材料有限公司。
T/ZZB 0093-2016 集成电路用高纯钛溅射靶材
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