JJF 1663-2017 激光测微仪校准规范

标准号 JJF 1663-2017 标准名称 激光测微仪校准规范
发布日期 2017-11-20 实施日期 2018-02-20
废止日期 代替以下标准
起草人 李江云(工信部电子第五研究所赛宝计量检测中心)、李升春(佛山赛宝信息产业技术研究院有限公司)、常青(工信部电子第五研究所赛宝计量检测中心)、张辉(陕西省计量科学研究院)、王晓飞(江苏省计量科学研究院)、赵勇(青海省计量检定测试所)、崔建军(中国计量科学研究院)
起草单位 工信部电子第五研究所赛宝计量检测中心、佛山赛宝信息产业技术研究院有限公司、陕西省计量科学研究院、江苏省计量科学研究院、青海省计量检定测试所、中国计量科学研究院
适用范围

本规范适用于采用光学三角法测量的激光测微仪的校准。

光测微仪(以下简称测微仪)是一种利用光学三角法测量原理,测量物体位移 (尺寸)变化的测量仪器,主要由激光光源、透镜、光学阵列接收部件、信号转换电路 等组成。由激光光源发出的激光束,垂直照射到被测物体表面形成光斑,然后从另一角度对物体表面的激光光斑进行成像,由接收部件对其进行瞄准并记忆。当被测物表面位 置沿激光轴线方向产生位移后,光学阵列接收部件感受到光斑的位置变化,将变化量换算成位移变化△L,再通过信号转换系统显示出位移量,其工作原理见图1。

测微仪主要用于装备制造加工中表面尺寸变化、高速旋转部件的抖动、晃动和振动 量等参数的非接触测量。

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